Графитовые затравочные патроны для производства поликремния

Графитовые затравочные патроны для производства поликремния Введение

Высокочистые графитовые электроды для осаждения высокочистого поликремния.

Наши высокочистые графитовые продукты широко используются в реакторах и преобразователях в процессе производства высокочистого поликремния, сырья для кремниевых пластин, используемых в полупроводниках и фотоэлектрических элементах.

Графитовые электроды, также называемые графитовыми затравочными патронами, в основном изготавливаются из очищенного изостатического графита. Графитовые затравочные патроны вступают в прямой контакт с кремниевым затравочным материалом.

Характеристики графитовых патронов

Отличная электропроводность

Отличная термостойкость

Отличная химическая стойкость

Доступны продукты высокой очистки

Основные соображения и требования к графитовым патронам

Высокая чистота: самый важный аспект. Примеси в графите могут диффундировать в поликремний во время высокотемпературного процесса, снижая его чистоту и пригодность для полупроводниковых применений. Необходимо свести к минимуму содержание таких микроэлементов, как бор, фосфор и тяжелые металлы.

Высокотемпературная прочность: должна сохранять структурную целостность при высоких температурах процесса CVD.

Теплопроводность: способствует равномерному нагреву затравочных стержней.

Электропроводность: необходима для резистивного нагрева затравочных стержней.

Химическая инертность: должен быть устойчив к воздействию газов, содержащих кремний, и водорода при высоких температурах.

Размерная стабильность: минимальное расширение или сжатие во время циклов нагрева и охлаждения для поддержания хорошего контакта с затравочными стержнями.

Обрабатываемость: графит должен легко обрабатываться в желаемые сложные формы.

Газовыделение: низкие характеристики газовыделения при высоких температурах. Газ, выделяемый графитом, может загрязнять поликремний.

Обработка поверхности: контролируемая обработка поверхности может влиять на адгезию и рост слоя поликремния

Почему графит?

Графит идеально подходит для этого применения благодаря:

Высокотемпературной стойкости: он сублимируется, а не плавится при чрезвычайно высоких температурах.

Хорошая теплопроводность: способствует равномерному нагреву.

Хорошая электропроводность: облегчает резистивный нагрев.

Относительно инертен: менее реактивен, чем многие другие материалы при высоких температурах в присутствии технологических газов. Обрабатываемость: может быть обработан в сложные формы, необходимые для оптимального роста поликремния.

Экономически эффективен: по сравнению с другими огнеупорными материалами, которые могут соответствовать температурным требованиям.